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二次離子質(zhì)譜儀原理的基本特征介紹

更新時(shí)間:2024-10-17瀏覽:1035次

   二次離子質(zhì)譜儀是利用高能離子束轟擊樣品產(chǎn)生二次離子的質(zhì)譜儀。主要包括一次離子源、進(jìn)樣室、質(zhì)量分析儀、真空系統(tǒng)、數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)等部分,絕緣樣品還配有電荷補(bǔ)償電子中和槍,根據(jù)分析目的不同,還有不同的離子源,如氣體放源(O,Ar,Xe),表面電離源(如Cs),熱隙源如C60,以及液態(tài)金屬和團(tuán)簇源(Bin,Aun,Ga)等。二次離子質(zhì)譜儀原理的基本特征如下:

 
  1.它的信息深度很小(比1nm還?。荒軌?qū)Σ牧系腪外層(原子層)的結(jié)構(gòu)進(jìn)行分析。
 
  2.空間分辨率非常的高和樣品表面結(jié)構(gòu)(小于50nm)比較清晰。
 
  3.能夠檢測質(zhì)量的范圍包括原子量單位低于12,000的所有材料,包括H和He等元素。
 
  4.分子離子峰和官能團(tuán)碎片峰能夠同時(shí)給出;能夠?qū)衔锖陀袡C(jī)大分子的整體結(jié)構(gòu)方便地進(jìn)行分析。
 
  5.雙束離子源可用于深度解析度小于1nm的樣品。
 
  6.使樣品Z表層的1-3個(gè)原子的信息深度獲得;
 
  7.能夠檢測同位素進(jìn)行同位素分析;
 
  8.達(dá)到PPM-PPB水平的檢測極限。
 
  9.能夠?qū)λ性睾突衔锿瑫r(shí)檢測,離子轉(zhuǎn)移率能夠達(dá)到100%。
 
  10.使用GX的電子中和槍能夠?qū)^緣材料進(jìn)行準(zhǔn)確分析。

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